プローブ用材料

高硬度、低抵抗を両立し、優れた直線性を有する材料を追求

プローブ用材料は、社会に欠かせない半導体のウェハおよびデバイスの検査装置に用いられます。
当社は、「高硬度」「低抵抗」に着目した新材料の製造、開発に取り組んでいます。500HV以上を有する製品をはじめ、幅広い製品ラインアップからお客様のご要望に応じた製品をご提案します。
直線加工した定尺品のほか、短尺のカットピンも取り扱っています。

プローブ用材料

組成

品名 金(%) 銀(%) プラチナ(%) パラジウム(%) その他成分(%)
APC-LP25 57.5 25 Cu,In
APC-Ⅲ 35 35 Cu
6元合金 10 30 10 35 Cu,Zn
APC-αⅠ 29.5 40 Cu,In
APC-H1 24.5 45 Cu,In

物性値

品名 密度(g/cm3) 融点(℃) 比抵抗
(μΩ・cm)
〔時効硬化材〕
引張強さ(MPa)
〔加工材〕
硬さ(HV)
加工材 時効硬化材
APC-LP25 10.5 995 12 280 370
APC-Ⅲ 10.5 1150 17 1100 310 370
6元合金 11.8 1086 32 310 350
APC-αⅠ 10.5 1070 11.5 1250 340 480
APC-H1 10.5 1100 10 1300 340 530

時効硬化材の硬さと電気伝導率

時効硬化の熱処理条件と硬さ

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